Liteagrafaíocht

Ar dtús, déantar maisc theimhneacha de na patrúin le próiseas grianghrafadóireachta le léas solais nó léas X-ghathanna. Is féidir na patrúin a dhéanamh i bhfad níos lú, agus mar sin dlús ciorcaid i bhfad níos mó a fháil, le X-ghathanna ná le solas. Ansin clúdaitear an tslisne le ciseal d'ábhar atá íogair do radaíocht leictreamaighnéadach, ar a dtugtar friotán, cuirtear an masc anuas air sin, agus nochtaítear an dromchla do radaíocht ultraivialait nó X-ghathanna. Nuair a nítear an dromchla ansin le tuaslagán ceimiceach ar leith, glantar chun siúil na fairsingí den fhriotán a nochtaíodh, agus déantar patrún an chiorcaid sa chiseal friotáin. Ina dhiaidh sin is féidir sreabhán eitseála a chur i bhfeidhm ar an sileacan nó an ocsaíd sileacain atá sna rianta sa bhfriotán, agus an sileacan a dhópáil chun ciorcaid a dhéanamh. Ar deireadh, nuair atá an ciorcad críochnaithe, tar éis suas le 20 masc i ndiaidh a chéile a úsáid b'fhéidir, glantar an fuílleach friotáin chun siúil le ceimiceán. Tá bealaí eile fós ann ina mbaintear feidhm as léas leictreon chun an patrún nochtaithe a tharraingt ar an bhfriotán gan masc ar bith a úsáid, agus is féidir patrúin níos míne ar fad a bhaint amach. Mar seo a chuirtear comhtháthú an-mhórscála (VLSI) i gcrích.