林本坚 (1942年—),中華民國學者、中央研究院院士,現任国立清华大学特聘研究講座教授、半導體研究學院院長、台積電-清大聯合研發中心主任,越南西貢堤岸(今胡志明市)人,籍貫廣東潮安,曾任台積電研發副總經理,與楊光磊、蔣尚義、孫元成、梁孟松、余振華等人並稱“台積電研發六騎士”。
1942年,出生于越南堤岸的越南華僑家庭,在當地的中華民國僑校完成小學、中學至高二。1959年,以僑生身分插班进入臺灣省立新竹中學高中三年級,後來在未以僑生身份加分的原始總分424分,錄取當年最低錄取分數423分的国立台湾大学電機工程學系,並於1963年畢業,后留学美国,雖獲柏克萊加州大學錄取,但因女友的關係,留在俄州並於1970年毕业于俄亥俄州立大学获得电机工程学博士。后任职于IBM,1984年担任研发部经理。 1992年,从IBM提前退休并同年创立领创公司担任总经理。2000年,回到台湾加入台积电。2002年,擔任研發處長時,以浸潤式微影技術,成功把摩爾定律推進六個世代,被譽為“浸潤式微影之父”、“半導體界愛因斯坦”,後該技術為ASML看重並得到採用,2015年从台积电退休后,担任国立清华大学特聘研究講座教授、半導體研究學院院長。他同時本身是一位虔誠的基督徒。
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